“北大路先生,你看我们的激光技术怎么样?这套准分子激光设备,是我们泛翰研究院自行研制的,能够生成193nm波长的紫外激光。”赵大健陪着笑,将日本检查团领进了实验室。

一七三所前研究员江清月,正是在这个实验室里,进行着自己的工作。所谓准分子激光,并非是对激光本身属性进行的描述,而是特指的发出激光物质为准分子。

准分子激光一般是由氙气二聚体等惰性气体或卤素气体,受到电子束激发形成的激光。光子能量波长范围在157-353nm之间,由于激光是在气体受到外来能量的激发,所引起的一系列物理及化学反应中,曾经形成但转瞬即逝的分子发出的,所以被称之为准分子激光。

这种激光的一个特点是寿命极短,只有几十毫微秒的时间。超过这个时间,发出激光的分子,就会迅速还原成原本的气体状态。其中193nm波长的激光,就是用来作为治疗近视等眼部疾病使用的激光刀。同时,193nm的激光也是后世光刻机普遍使用的波长。

江清月在众人进入的时候,正操作着一台氟氩气体激发的准分子激光器,测试将激光光源进行多次聚焦之后再恢复成平行状态。

城三太郎几乎是看到的第一眼,心里就大喊了一声“八嘎雅路!”。从几组透镜的布置来看,泛翰集团显然已经是在研究0.35微米工艺的光刻机了!光刻机的加工精度不同。使用的透镜数量、种类和布置都有非常多的讲究。

作为尼康光刻机项目的参与者,城三太郎对当前最先进的0.35微米工艺光刻机。透镜的布置当然是了若指掌。他百分之百的肯定,泛翰集团目前已经摸到了这项技术的门路,实现技术突破恐怕只是时间问题了!

“赵部长,你这是做什么?”江清月看到一行人挤进了实验室里,皱着眉头问道。

“小江啊,快来我给你介绍一下!”赵大健呵呵笑着,摆了摆手说道:“这是日本东芝来咱们泛翰研究院的考察团,给国际友人们汇报一下咱们的研究进度。说不定还能给你的项目指点一二呢。”

江清月疑惑的看了赵大健一眼,她在泛翰研究院只是比较基层的研究员,级别是比不上赵大健的。但赵大健负责的是运营部,本身又管不到技术部的事情。她抬头向外面看去,却见到笑扉扉站在门外微微的点了点头,这才放下了心来。

“我们的试验正在测试高密度石英材料制作的镜头,在经过多次反射折射之后。进行色差补偿的方案……”

“色差补偿!”城三太郎微微一愣,脸上的表情就有些僵硬了。如果说之前他还只是怀疑,那么听到江清月的研究内容,就几乎是坐实了泛翰集团在0.35微米工艺的技术上,肯定是取得了不小的突破。色差补偿是光刻机研究领域,非常重要的内容。通过使色差最小化。能够抑制由激光带宽变动所引起的光学邻近效应。比如局部光斑、入射角和热象差、偏振状态控制能力的保持。

这些技术难题,直接决定了反射镜的数量与类型。这些镜头设计的细节,每一点改进都意味着距离成功更近了一步。

“我能看看你们的实验记录吗?”城三太郎还是非常谨慎的提出了他的要求,中国人或许可以摆一个花架子来骗他,但绝对没有办法编出一套正确的实验结果来。如果这种实验记录都能编出来。那更说明他们掌握了这项技术……

“小江,还不快把你们的实验记录拿出来。给城三太郎先生看看?”赵大健说着,还回过身来致歉道:“城三先生是东芝方面的光刻技术专家,您稍微指点两句,肯定会让我们获益良多。”

“哪里,我想以中国人的智慧,一定可以取得让我刮目相看的成绩。”城三太郎见江清月取来了实验记录,也就不在意多客气两句了。在日本越是受教育程度高的人,对汉语阅读就越流利,倒是不用担心他会看不懂实验记录。

城三太郎打开实验记录,粗粗的扫了两眼,不由得就是暗自心惊。各种光波在不同材质之中穿行,产生的变化都不相同。193nm的准分子激光,想要应用在光刻机上,就必须对镜头进行全新设计。在此之前就必须详细的试验新材料,全面的了解镜头对激光产生的所有影响。

从实验记录的结果上面来看,显然泛翰集团已经对高密度石英,进行了全面的激光测试。测试进度至少已经达到了80%的水平,要知道当全部测试完成之后,接下来要进行的就是镜片设计工作了。进入这个阶段,基本就可以看做是0.35微米工艺光刻机技术开发,进入到最后的步奏了。

“赵桑,这些数据都是你们自己的镜头,测试出来的结果吗?”城三太郎颇为焦急的问道,他这样的问题可以说是非常的不礼貌,但这个时候已经没有心情去计较这种小事了。

能够测试出完全正确的镜头数据,这说明中国人已经掌握了0.35微米光刻机所需的镜头加工技术。这对尼康来说,简直就像是在乡下小河沟里,突然钓出来一条大白鲨一样。

当今国际上,如果把芯片生产技术分成三个档次。那么1.2到0.8微米,可以算是上点档次的三流技术,至于1.2微米以上、乃至2微米以上的技术,已经基本没有存在的价值了。而0.5微米技术,可以算是二流技术,是当今世界上晶圆厂的主流水平。至于0.35微米工艺,就连尼康也不过才刚刚掌握而已。

这突然之间,在中国这种科技荒漠的国度里,城三太郎竟然发现了世界一流的光学镜片加工水平,岂不是太过于荒谬了吗!

这点把戏说穿了,其实毫不奇怪。周硕穿越前的二十年后,高密度石英材料早就已经被研究个透了。虽然没有各项镜片的具体实验数据,但其本身的各项特性却根本不是秘密。从基础数据进行反向推算,很容易就能得到理论上的实验数据。当然这些数据在1995年的城三太郎看来,没有经过试验是绝对不可能得到的。

中国人什么时候有这种水平了?这不科学啊!收起心中的惊讶,城三太郎表面上平静下来,假意摇头道:“你们在没有外部帮助的情况下,能够做到这一步确实非常的不容易了。不过目前看来石英材料带来的折射率,还是无法满足技术需要的。在我们日本,更加倾向于使用镥铝柘榴石来制作镜头。它的2.1折射率,能够极大的缩小线宽工艺。”

城三太郎这话说的也是半真半假,他当然不可能拿纯粹的假话来糊弄。泛翰研究院能够走到这个地步,没有点技术功底是不可能的。但镥铝柘榴石本身却极难加工,对激光的影响和石英材料也完全不同,如果泛翰研究院真的转头去研究这种材料,恐怕十年内都没有希望获得成果。

“真的?”赵大健脸色瞬间变得很坏,向江清月训斥道:“小江你们激光实验室是怎么回事?即使不能追上国际先进水平,但追踪国际水平也做不到吗?你听听,人家日本已经在使用镥铝柘榴石来制作镜头了,你们还在做石英材料的试验,这怎么能够满足我们运营部的需求?”

“这……”江清月的脸色不由得难看起来,有些生气的说道:“我们的技术路线不同,未必就不能继续沿用石英材料镜头吧?何况现在研究院已经在这项实验上投入了很大一笔资金,这时候再更改研究方向,集团哪里拿得出来这笔钱?”

“这你怕什么?集团很快就能得到一笔一亿美元以上的订单,到时候自然有资金继续进行投入……”赵大健说了两句,突然意识到当下的场合,连忙收住了嘴巴,冷冷的哼了一声道:“这个问题上面自有考虑,激光实验室先把石英材料的试验停下,做一做镥铝柘榴石的预研吧。”

一旁的日本翻译,准确的将江清月的这句话翻译了过去,这让城三太郎眼前一亮。光刻机镜头的研发,是非常耗费金钱的。目前的亚微米阶段,虽然比未来的纳米时代要便宜的多,等闲也是要几亿美元扔进去,才能有点成果出来。一家中国企业,因为开发光刻机而耗光了资金,似乎并不是太过奇怪的事情。

想来泛翰集团依仗的,就是华晶那笔庞大的采购方案。如果国际上依然坚持对华技术禁运,那么这笔上亿美元的订单,肯定就会落在他们的头上,当然也就会度过这段资金紧张的时期。城三太郎突然想到:如果这个时候,原本不会下场的尼康,突然抢走了他们这笔生意……